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當時(shí)現行標準的分子泵不能直接用到圓排機上，因為圓排機的工況，工作過(guò)程中燈管不可避免地會(huì )產(chǎn)生漏氣和破損而產(chǎn)生的壓力高、大氣流的沖擊和碎屑等的情況。鑒于此，由公司專(zhuān)項研制高壓強分子泵，由上海涌真機械有限公司實(shí)施圓排車(chē)制造替換譜拓泵，把公司研制的分子泵應用在上海正貝照明制造的圓排車(chē)上，進(jìn)行的替代設計制造。

此后，公司成功研制出FF-160/500G分子泵，其技術(shù)參數詳見(jiàn)表1。表1 FF-160/500G復合分子泵技術(shù)參數替換方案此前圓排機上的兩套分別為：一臺ZJP150譜拓泵和TRP-16一臺真空泵和凱尼ZJ150譜拓泵和愛(ài)發(fā)科VD401真空泵的譜拓真空組。左：普通分子泵；右：高壓強分子泵替換方案為：一套由一臺KYKY公司的FF160/500G分子泵，前級為北儀優(yōu)成的TRP-60或TRP-48真空泵，過(guò)渡真空室、接管、真空測量系統組成的機組（簡(jiǎn)稱(chēng)分子泵機組）。

現一臺分子泵機組拖7工位，可增至10個(gè)工位。原兩臺拖7工位。表2 工作監控情況及對比數據表實(shí)際效果對比分析分子泵機組比抽氣速率大，真空度高近一個(gè)數量級。而且相較而言，分子泵機組的噪音更小，占地面積更小。在運轉費用方面，按一年280天計算，每天24h，全年就是6720h。單位：元

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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渦輪分子泵與油擴散泵相比具有啟動(dòng)快,有機蒸汽污染少和極限真空高等特點(diǎn).因此在氦質(zhì)譜檢漏儀中采用分子泵作為高真空系統,即使檢漏儀不用液氮冷阱,質(zhì)譜室也不致嚴重沾污,并能保持較低的本底或雜聲.這有利于氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度和穩定性的提高,并且延長(cháng)離子源的使用壽命.

氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統取代擴散泵排氣系統，不僅解決了油蒸氣對質(zhì)譜室的污染問(wèn)題，而且對快速啟動(dòng)儀器和快速停機做出了很大貢獻。氦質(zhì)譜檢漏儀中沒(méi)有手動(dòng)閥，現已采用自控閥自動(dòng)調節運轉時(shí)的誤差。同時(shí)用渦輪分子泵取代了油擴散泵，以消除可能造成的油返流。計算機技術(shù)也在檢漏儀中獲得應用。運轉、控制和輸出數據均由計算機自動(dòng)操作完成。

我們都知道，旋轉機械的不平衡是引起振動(dòng)的常見(jiàn)原因之一，由此產(chǎn)生的振動(dòng)力取決于旋轉速度以及不平衡的程度。而在高速旋轉的機械中，不平衡則是非常嚴重的問(wèn)題。尤其對轉子速度高達90000rpm（1500rpm/sec）的渦輪分子泵而言，對于動(dòng)平衡品質(zhì)的要求極高，哪怕是幾毫克范圍內輕微的不平衡，都會(huì )對泵的運行產(chǎn)生重大影響。因此，渦輪分子泵的轉子需要做精密的動(dòng)平衡，品質(zhì)好的動(dòng)平衡既關(guān)系到轉子的平穩運行，也關(guān)系到渦輪分子泵的磨損，還可確保將傳遞到真空腔室和用戶(hù)應用系統上的振動(dòng)降至很低。

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傳統的動(dòng)平衡技術(shù)通過(guò)增加額外的質(zhì)量，例如動(dòng)平衡配重塊，來(lái)減少質(zhì)量分布的不均勻。質(zhì)量動(dòng)平衡借助機械加工流程而得到廣泛使用，其中包括諸如磨削以及通過(guò)鉆孔去除材料等工藝。在傳統的動(dòng)平衡過(guò)程中，轉子的徑向偏移是在軸承附近的兩個(gè)測量層測量的。轉子的不平衡度利用一種特殊的算法來(lái)確定。為了降低總不平衡程度，轉子沿旋轉軸分成多個(gè)平衡等級，每個(gè)等級都有相應的孔。

動(dòng)平衡配重塊沿著(zhù)各平衡等級的圓周手動(dòng)擰入。這樣就降低了質(zhì)量分布的不均勻，轉子的剩余不平衡度被減少到所需的極限值以下。這里的不平衡度將在多種速度下確定，并逐步完成補償，從而降低轉子的振動(dòng)并達到額定速度。

近些年來(lái)，渦輪分子泵的應用場(chǎng)景越來(lái)越多，許多制造領(lǐng)域以前常用低溫泵和擴散泵來(lái)作為超高真空泵，目前已多被渦輪分子泵所取代。此外，隨著(zhù)相關(guān)應用領(lǐng)域對工作環(huán)境的要求越發(fā)嚴苛，對渦輪分子泵也提出了更高要求，特別是在次級特性方面。因此，高速轉子一直需要進(jìn)一步開(kāi)發(fā)，包括轉子的使用壽命、振動(dòng)水平（即泵殼上發(fā)出的聲響和振動(dòng)），以及基于部件表面脫氣性能方面的潔凈度指標。

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